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新型ウエハー自動検査装置

太陽電池用シリコンウエハーの自動外観検査装置です。最速1秒にて外観検査を行います。
レーザー変位計を用いて非接触にてウエハーの厚み、反り等の測定を行い画像処理部では可視光カメラと赤外光カメラを用いてウエハー寸法、コーナー角度、チップ、ピンホール、汚れ、マイクロクラック等を検査します。　　　　　　　　

ウエハー厚み自動検査装置

静電容量センサーを用いて非接触にて、太陽電池用シリコンウエハーの厚みや、反りなどの断面形状を測定する検査装置です。

卓上ウエハー厚み測定器

卓上型の太陽電池向けシリコンウエハーの非接触厚み及び断面形状を測定します。
センサーは静電容量式変位センサーを使用し、指定されたポイントの測定や、ライン測定を行うことができます。

ウエハーカウンター

太陽電池向け単結晶、多結晶シリコンウエハーの枚数をカウントします。
測定部にセットされたウエハーの端面を同軸照明と300万画素のカメラで撮影し画像処理ソフトウェアにてウエハー間を測定し、枚数を計測します。

静電容量式変位計

静電容量センサーを使用した高リニアリティ、低ノイズ、高周波数応答を実現した非接触による変位計です。レーザーのような集束光と異なりブローブ面からの平均距離を測定するため、切削加工部品の寸法測定などに最適です。弊社では、さらなる高精度寸法測定のため、測定環境（温湿度、粉塵付着等）に影響を受けない液体（洗浄液や防錆油）内での測定シ　　　　　　　　　　　ステムを行っています。